
Die ersten Vergasungsversuche fanden im September 1941 in den Arrestzellen des Blocks 11 im Stammlager von Auschwitz statt. Dann wurde die Leichenhalle beim Krematorium I als Gaskammer genutzt. Aufgrund der mangelhaften Geheimhaltung und begrenzten Leistungsfähigkeit des Krematoriums I wich die SS 1942 nach Birkenau aus und baute zwei Bauernhäuser in einem Waldstück zu Gaskammern um. Die Leichen wurden über Schmalspurgleise zu den einige hundert Meter entfernten Gruben gefahren, wo sie zunächst verscharrt, im Herbst 1942 jedoch wieder ausgegraben und verbrannt wurden.
| Hier waren alle Stationen des Vernichtungsprozesses räumlich zentralisiert und technisiert. Jede Einheit hatte Entkleidungsräume, Gaskammern sowie Retortenöfen zur Einäscherung der Toten. |
| Auschwitz I - Stammlager | Vernichtungsanlagen | in Betrieb |
| Krematorium I | Gaskammer, drei Öfen für 340 Leichen | Anfang 1942 bis Frühjahr 1943 |
| Auschwitz II - Birkenau | Vernichtungsanlagen | in Betrieb |
| Bunker I | zwei Gaskammern für 800 Personen, Entkleidungsräume, Massengräber | 1942 |
| Bunker II | vier Gaskammern für 1.200 Personen, Entkleidungsräume, Verbrennungsgruben | 1942; im Frühjahr 1944 umgebaut und tagsüber als Reserve benutzt |
| Krematorium II | Gaskammer unterirdisch für bis zu 3.000 Personen, oberirdisch fünf Öfen für täglich 1.440 Leichen | März 1943 bis November 1944 |
| Krematorium III | Gaskammer unterirdisch für bis zu 3.000 Personen, oberirdisch fünf Öfen für täglich 1.440 Leichen | Juni 1943 bis November 1944 |
| Krematorium IV | 4 Gaskammern oberirdisch für etwa 3.000 Personen, zwei Öfen für täglich 768 Leichen | ab März 1943, am 7. Oktober 1944 von Häftlingen zerstört |
| Krematorium V | 4 Gaskammern oberirdisch für etwa 3.000 Personen, zwei Öfen für täglich 768 Leichen | April 1943 bis November 1944 |
Die Asche der Toten diente als Dünger auf den Feldern, zur Trockenlegung von Sümpfen oder wurde einfach in die umliegenden Flüsse oder Teiche geschüttet.